AMC属性

在大气压和环境温度下，包含大约1015个原子/ cm2的固体表面接收异物气体分子，并且原子流的功率为1023 [37]每平方厘米每秒。这意味着在十亿分之一秒内，表面将被一些气体分子层覆盖。分子粘附在表面上的可能性在很大程度上取决于其性质以及表面的性质和形态。但是，即使在ppbv范围内（十亿分之一的体积，即10-9）的微量反应副产物以1014s-1cm-2的速率撞击表面，如果粘附系数高，也会在几秒钟内覆盖表面。空气分子可以是极性的或非极性的。在非极性分子中，电荷对称分布，正负电荷的中心重合。这样的例子是氮N 2或线性CO 2分子。这些分子通过弱的范德华力保持在固体表面上，并具有通常在热能RTasymp 2.5 kJ / mol和约20中点RT之间的结合能。在极性分子中，电荷不对称分布，引起有性偶极动量。极性分子的例子是水H2O和半导体蚀刻工艺中使用的无机酸，例如HF和HCl。极性分子的结合能很高，例如Si（100）表面上的H2O的结合能约为138kJ / mol。这些分子可以与表面发生化学反应，形成进一步反应的核心。