真空室：确定粗抽泵的抽速

在某种预真空下，需要启动各种低温泵，低温吸附泵（不包括分子筛泵），溅射离子泵，钛泵等。此时，系统所需的预泵抽速不仅与真空室的容积有关，而且与设定的预抽时间有关。预泵的抽速通过以下公式计算，其余符号与公式（9-11）相同。对于大型真空系统，建议不要将配置为主泵的前级泵用作粗抽泵。因为有时为了缩短粗抽时间，前级泵需要配置得更大，并且长期运行会消耗大量能量，这非常不经济。因此，大型系统配备了专用的粗抽泵。抽速由相同的公式（9-26）计算。