真空容器或设备中的泄漏形式

真空容器或设备中泄漏孔的形式大致如下：①细圆形管，②复截面管，③狭缝，④连接的多L型结构，⑤通过细管或狭缝组合结构连接空腔。图13-1显示了几个泄漏示例。