电子工艺对真空环境的要求

　　根据美国洁净室标准，空气洁净度的分级是依据每0.028m^3中的尘埃粒数，那么10000级洁净室每0.028m^3空气中含有的0. 5um或更大的尘埃粒数少于10000颗。采用绝对过滤层流技术措施和室内套室结构，每0.028m^3尘粒数可少于100颗。
　　
　　(1)电子组装件所需的洁净室环境
　　
　　电子组装件所需的洁净室环境通用z*低标准见表15-7。
　　
　　洁净室z*低标准，也应包括温湿度控制。保持工作区温度在20℃～30℃之间，相对湿度为45%—55%时，就可以避免类似的汗水和静电污染。
　　
　　（2）洁净室使用要求
　　
　　洁净室使用要求见表15-8
　　
　　4.表面净化方法

　　
　　评价清洁表面的方法见表15-9.