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GDQ型气动高真空挡板阀性能参数(3)

兰州真空设备有限公司生产的高真空气动挡板阀有两种类型:GDQ-J和GDQ-JB(扁平阀)。它用于切断或连接高真空和低真空系统中的气流。适用的介质是干燥空气,无腐蚀性气体和无颗粒灰尘的清洁气体。尺寸如表 2020-02-01

真空镀膜:用于制备硅单晶膜的CVD装置

图10-28示出了用于外延生长的硅单晶膜的简化的CVD设备。该器件在高温下在硅衬底上外延生长硅单晶膜。可以产生均匀的薄膜层,薄膜厚度为1mu,m〜2mu,m 2020-01-31

真空元件:家用玻璃冷阱尺寸

家用玻璃冷阱的外观和尺寸,请参见表7-97 2020-01-30

清洁超高真空抽气系统

根据分子束外延设备的真空要求,需要10-8Pa的超高真空环境。图10-36中的设备真空系统组成如下:1.前级真空排气系统前级真空排气系统使用两个分子筛吸附泵将整个机器排气。从大气中开始排气,并启动离子 2020-01-29

线振动质谱仪(静电质谱仪)

1950年,特雷特纳(Tretner)发明了线振动质谱仪,它也是一种纯电场质谱仪。仪器探头的小尺寸类似于电离计的尺寸,可用于监视压力的快速变化。仪器的工作原理如图12-31所示。阴极K发射的电子(发射 2020-01-28

金属陶瓷的其他密封方法

自1960年代以来,国外已开始将气体放电,电子束,压力扩散和其他技术应用于金属。在陶瓷密封工艺中,已经创建了一些新的工艺方法。如蒸发金属化,溅射金属化,离子镀,电子束焊接,扩散焊接等。这些方法扩大了材 2020-01-27